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手套箱故障分析

一、手套箱不断抽真空

1. 过渡舱舱门未关严；

2. 脚踏是否被东西压住；

3. 电磁阀块上<净化柱抽气阀>是否被杂质卡住；

4. 电磁阀块上<箱体抽气阀>是否被杂质卡住。

二、手套箱用气量增大

1. 在从工作气气源到设备的管路有泄漏，气源处钢瓶口漏气、阀块上进气管接口漏气；

2. 高真空挡板阀气体泄漏；

3. 高真空挡板阀的压力管出现漏气，依次检查。

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手套箱的核心技术是什么

手套箱是一个要把箱体内的气氛与空气完全隔绝的系统。箱体外空气中氧气的含量大于20％或 200000 PPM（百万分之一），而箱体内的氧气含量小于1PPM，手套箱内外氧气浓度相差近一百万倍，微小量的空气泄漏入手套箱，将对手套箱内的氧含量造成很大的 影响。因此，密封对手套箱是至关重要的，OLED手套箱价格，是手套箱核心的技术。

手套箱上有很多连接处和橡胶手套，少量空气泄漏入手套箱内是在所难免的。另外，在使用手套箱时，转移入手套箱的物料也不可避免要带入少量水和氧。还有，手套箱使用的工作气中也含有几个甚至几十个PPM的水氧。所有这些杂质，都是气体净化系统循环同时除去的。

由此可见，手套箱的核心技术是密封和气体纯化效率。

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手套箱常见故障及解决办法

1、水氧含量大于200ppm

原因：新箱调试或误操作。

办法：停止循环，开启清洗，清洗至100ppm以下，开启循环。

2、屏幕显示 主阀压力不足0.4MPa或主阀信号故障

原因：气源压力不足。

办法：换气瓶，增大压力至0.4-0.5MPar。

3、屏幕显示“Pump Switch Off”

原因：真空泵阻力过大，造成跳闸。

办法：维修真空泵后，打开电柜，合上跳闸开关。

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